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產(chǎn)品名稱(chēng)： VPO-300快速退火爐
零售價(jià)
0.0
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市場(chǎng)價(jià)
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產(chǎn)品編號
19
數量
-
+
庫存:
0
產(chǎn)品展示
參數
快速退火爐(RTP/RTA)是半導體材料和器件常用的一款工藝設備?？焖偻嘶馉t可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用。VPO-300是一款很有特點(diǎn)的快速退火爐，有非常大的退火空間，適合12英寸晶圓或300mm x 300mm大尺寸樣品的熱處理。
儀器特點(diǎn)：
- 快速熱處理、快速熱退火 RTP / RTA；
- 可在真空、甚至于高真空環(huán)境使用；
- 加熱區域尺寸：300毫米 X 300毫米；
- 廣泛用于太陽(yáng)能電池片快速退火工藝，如156mm x 156mm電池片，300mm x 300mm電池片等；
參考用戶(hù)：
中科院上海技術(shù)物理所，中國電子科技集團41所，中鋁集團，西安炬光等；
關(guān)鍵詞:
快速退火爐，RTP，快速熱處理爐，
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RTP-150快速退火爐
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