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產(chǎn)品名稱(chēng)： 光學(xué)薄膜測厚儀
零售價(jià)
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市場(chǎng)價(jià)
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產(chǎn)品編號
數量
-
+
庫存:
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產(chǎn)品展示
參數
光反射薄膜測厚儀
原產(chǎn)國：美國
薄膜表面或界面的反射光會(huì )與從基底的反射光相干涉，干涉的發(fā)生與膜厚及折光系數等有關(guān)，因此可通過(guò)計算得到薄膜的厚度。光干涉法是一種無(wú)損、精確且快速的光學(xué)薄膜厚度測量技術(shù)，我們的薄膜測量系統采用光干涉原理測量薄膜厚度。
該產(chǎn)品是一款價(jià)格適中、功能強大的膜厚測量?jì)x器。近幾年，每年的全球銷(xiāo)售量都超過(guò)200臺。根據型號不同，測量范圍可以從10nm到250um，它最高可以同時(shí)測量4個(gè)膜層中的3個(gè)膜層厚度（其中一層為基底材料）。該產(chǎn)品可應用于在線(xiàn)膜厚測量，測氧化物、SiNx、感光保護膜和半導體膜，也可以用來(lái)測量鍍在鋼、鋁、銅、陶瓷和塑料等上的粗糙膜層。
應用領(lǐng)域
理論上講，我們的光干涉膜厚儀可以測量所有透光或半透光薄膜的厚度。以下為我們最熟悉的應用領(lǐng)域(半導體薄膜，光學(xué)薄膜涂層，在線(xiàn)原位測量，粗糙或弧度表面測量)：
- 晶片或玻璃表面的介電絕緣層(SiO2, Si3N4, Photo-resist, ITO, ...)；
- 晶片或玻璃表面超薄金屬層(Ag, Al, Au, Ti, ...)；
- DLC(Diamond Like Carbon)硬涂層；SOI硅片；
- MEMs厚層薄膜(100μm up to 250μm)；
- DVD/CD涂層；
- 光學(xué)鏡頭涂層；
- SOI硅片；
- 金屬箔；
- 晶片與Mask間氣層；
- 減薄的晶片(< 120μm)；
- 瓶子或注射器等帶弧度的涂層；
- 薄膜工業(yè)的在線(xiàn)過(guò)程控制；等等…
軟件功能
豐富的材料庫：操作軟件的材料庫帶有大量材料的n和k數據，基本上的常用材料都包括在這個(gè)材料庫中。用戶(hù)也可以在材料庫中輸入沒(méi)有的材料。
軟件操作簡(jiǎn)單、測速快：膜厚測量?jì)x操作非常簡(jiǎn)單，測量速度快：100ms-1s.
軟件針對不同等級用戶(hù)設有一般用戶(hù)權限和管理者權限。
軟件帶有構建材料結構的拓展功能，可對單/多層薄膜數據進(jìn)行擬合分析，可對薄膜材料進(jìn)行預先模擬設計。
軟件帶有可升級的掃描功能，進(jìn)行薄膜二維的測試，并將結果以2D或3D的形式顯示。軟件其他的升級功能還包括在線(xiàn)分析軟件、遠程控制模塊等。
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